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本实用新型涉及一种辅助更换晶圆快速热处理设备中灯泡的装置，晶圆快速热处理设备中设有反应腔体，所述反应腔体中分布安装有产生热量的多个灯泡，包括平板罩子，所述平板罩子与所述反应腔体的形状和大小相匹配，所述平板罩子上设有多个圆孔，所述圆孔的个数与...
该专利属于武汉新芯集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉新芯集成电路制造有限公司授权不得商用。

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