下载一种基于微悬臂梁阵列的气体流动梯度检测仪的技术资料

文档序号:15428009

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本实用新型公开了一种基于微悬臂梁阵列的气体流动梯度检测仪,包括激光器、第一平面镜、音圈电机、微悬臂梁阵列、反应管道、夹持台、第二平面镜、光电位置敏感探测器、数据采集卡、计算机构成,所述激光器发射的激光束与第一平面镜所称的角度是45°;所述第...
该专利属于安徽理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过安徽理工大学授权不得商用。

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