一种基于微悬臂梁阵列的气体流动梯度检测仪制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基于微悬臂梁阵列的气体流动梯度检测仪，包括激光器、第一平面镜、音圈电机、微悬臂梁阵列、反应管道、夹持台、第二平面镜、光电位置敏感探测器、数据采集卡、计算机构成，所述激光器发射的激光束与第一平面镜所称的角度是45°；所述第一平面镜是由音圈电机带动其平行移动，使反射激光束依次从左向右或者从右向左平行式扫描微悬臂梁阵列的每个微悬臂梁自由端，使反射激光束照射到微悬臂梁自由端的位置一致，实现阵列扫描。本实用新型专利技术操作简单，测量灵敏度高，扫描速度快，光路简单，容易搭建。

【技术实现步骤摘要】
一种基于微悬臂梁阵列的气体流动梯度检测仪
本技术涉及一种检测仪，更具体地涉及一种基于微悬臂梁阵列的气体流动梯度检测仪。
技术介绍
微悬臂梁是MEMS中一个应用非常广泛的结构，微悬臂梁传感检测技术是在原子力显微镜(AFM)和微机电系统(MEMS)出现后迅速发展起来的一种新的传感技术，微梁传感器利用微梁表面上发生的反应，根据微梁表面应力发生的改变以及微梁产生弯曲变形的参数进行实时测量，由于微悬臂梁传感检测技术具有使用便捷、高灵敏度、无需标记及实时监测分析等优点，在生物医疗、化学、信息检测领域等具有重大应用前景。微悬臂梁作为一个最简单的MEMS器件近来受到广泛关注，通过激光照射微悬臂梁自由端，利用光杠杆法对每根微悬臂梁的端部位移进行放大后经过光电位置敏感探测器对信号进行探测，进而对微悬臂梁表面发生的生化反应进行研究。已有的光纤悬臂梁检测装置是将长直光纤植入标准为通道内制作成为光纤悬臂梁，该装置的造价较高，装置庞大，集成度差，不利于广泛使用。在显微流量检测仪(申请号：201320068093.2)中，采用单根的微悬臂梁，单根微悬臂梁检测不能测量梯度变化，并且每次只能用一根微悬臂梁进行实验，浪本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于微悬臂梁阵列的气体流动梯度检测仪，由激光器(1)，第一平面镜(2)，音圈电机(3)，微悬臂梁阵列(4)，夹持台(5)，第二平面镜(6)，光电位置敏感探测器(7)，数据采集卡(8)，计算机(9)，反应管道(10)构成，其特征是所述激光器(1)与平面镜(2)之间的夹角是45°，通过音圈电机(3)带动第一平面镜(2)平行移动，使反射激光束依次从左向右或者从右向左平行式扫描微悬臂梁阵列的每个微悬臂梁自由端，使反射激光束照射到微悬臂梁自由端的位置一致，实现灵敏度高，效率高的阵列扫描。

【技术特征摘要】
1.一种基于微悬臂梁阵列的气体流动梯度检测仪，由激光器(1)，第一平面镜(2)，音圈电机(3)，微悬臂梁阵列(4)，夹持台(5)，第二平面镜(6)，光电位置敏感探测器(7)，数据采集卡(8)，计算机(9)，反应管道(10)构成，其特征是所述激光器(1)与平面镜(2)之间的夹角是45°，通过音圈电机(3)带动第一平面镜(2)平行移动，使反射激光束依次从左向右或者从右向左平行式扫描微悬臂梁阵列的每个微悬臂梁自由端，使反射激光束照射到微悬臂梁自由端的位置一致，实现灵敏度高，效率高的阵列扫描。2.根据权利要求1所述的一种基于微悬臂梁阵列的气体流动梯度检测仪，其特征是微悬臂梁阵列(4)通过带有卡槽的...

【专利技术属性】
技术研发人员：牛晓燕，庞帅，张涛钢，薛长国，滕艳华，陈兆权，胡业林，
申请(专利权)人：安徽理工大学，
类型：新型
国别省市：安徽,34