下载一种多晶硅粗馏控制方法的技术资料

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本发明提供一种多晶硅粗馏控制方法,通过调节合成粗馏一级塔的塔釜采出流量来调节合成粗馏一级塔的塔顶塔釜压差和塔釜温度,通过调节合成粗馏一级塔的进料流量来调节合成粗馏一级塔的塔釜温度和塔釜液位,通过调节合成粗馏一级塔的塔釜采出流量来调节合成粗馏...
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