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具有不对称栅极的垂直晶体管制造技术
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下载具有不对称栅极的垂直晶体管的技术资料
文档序号:15401517
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一种晶体管结构被形成为包含衬底以及位于所述衬底上方的源极、漏极和沟道,所述沟道被垂直地设置在所述源极与所述漏极之间。所述沟道被耦接至栅极导体,所述栅极导体经由栅极电介质材料层围绕所述沟道,所述栅极电介质材料层围绕所述沟道。所述栅极导体由具有...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。
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