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一种镍基催化剂纳米薄膜的制备方法技术
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文档序号:15400029
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本发明公开了一种镍基催化剂纳米薄膜的制备方法,首先利用磁控溅射技术在基底表面沉积一定厚度的镍纳米薄膜;然后将薄膜样品放置在三维移动平台上,利用激光干涉对镍纳米薄膜进行织构化加工,将镍纳米薄膜加工成规则分布的图案;最后将织构化加工后的薄膜样品...
该专利属于中国矿业大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国矿业大学授权不得商用。
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