下载镭射母版及制造该镭射母版的光刻机的技术资料

文档序号:15399408

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一种镭射母版,包括镭射母版本体,所述镭射母版本体工作面上有全息图案,全息图案包括多个形成周期性渐变光柱单元体全息图的光柱周期性像素点单元,全息图案中至少一个区域中部分像素点单元为局部素描图案光柱体标识的标识像素点单元,标识像素点单元光栅条纹...
该专利属于广东东南薄膜科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东东南薄膜科技股份有限公司授权不得商用。

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