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用于电介质膜的基于自由基的沉积的装置制造方法及图纸
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下载用于电介质膜的基于自由基的沉积的装置的技术资料
文档序号:15397122
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本文所公开的实施方式总体包括一种用于电介质膜的基于自由基的沉积的装置。该装置包括:处理腔室;自由基源,所述自由基源被耦接到处理腔室;基板支撑件,所述基板支撑件设置在处理腔室中;以及双通道喷头,所述双通道喷头设置在自由基源与基板支撑件之间。双...
该专利属于应用材料公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料公司授权不得商用。
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