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光照射装置和光照射方法制造方法及图纸
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文档序号:15396914
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光照射装置(1A)具有光源(10)、分散元件(20)、空间光调制器(30)和聚光元件(50)。分散元件(20)将从光源(10)输出的脉冲光分散并输出。分散元件(20)例如包括棱镜(21、22)。空间光调制器(30)对从分散元件(20)输出的...
该专利属于浜松光子学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。
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