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一种高可靠性的SOI-LIGBT制造技术
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下载一种高可靠性的SOI-LIGBT的技术资料
文档序号:15393469
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本发明属于功率半导体技术领域,具体涉及一种高可靠性的SOI‑LIGBT。本发明相比于传统的LIGBT,在P+集电区附近引入一个N+集电区和多晶硅电阻区,又在发射极端引入槽形发射电极。新器件可实现如MOSFET的耐压机理,其耐压值大小不随P+...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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