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一种可提高耐压的局部非平衡超结结构制造技术
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文档序号:15393455
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本发明涉及一种可提高耐压的局部非平衡超结结构,属于功率半导体器件技术领域,该超结结构包括若干P型柱区和若干N型外延区,所述P型柱区和所述N型外延区交替分布;所述P型柱区和所述N型外延区的一端面与P型掺杂的阳极相连,所述P型柱区和所述N型外延...
该专利属于山东大学所有,仅供学习研究参考,未经过山东大学授权不得商用。
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