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本发明提供一种微电子加工设备，托盘和机械手，所述托盘用于承载被加工工件，所述机械手用于实现被加工工件在所述托盘上的取放操作，所述机械手包括机械手指、机械臂以及连接所述机械手指和所述机械臂的连接部，在所述连接部设置有两个位置传感器，所述两个位...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。