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本发明公开了一种真空气氛处理装置，所述装置的顶部与外部的电子束产生装置连接，其特征在于，所述装置为轴对称结构，所述装置从中心轴向外依次包括：中心通道、第一抽气通道、供气腔室和至少一个第二抽气腔室；其中，所述中心通道的出口处设置有压差光阑，用...
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