下载引导嵌段共聚物形成纳米结构的方法的技术资料

文档序号:15382991

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本发明提供了一种引导嵌段共聚物形成纳米结构的方法,包括:基底上形成均聚物刷/毡;将嵌段共聚物涂覆在均聚物刷/毡上;诱导嵌段共聚物相分离自组装形成具有纳米结构的共聚物层;去除所述具有纳米结构的共聚物层中的一相,未去除的相作为掩模将纳米结构转移...
该专利属于中国科学院长春应用化学研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春应用化学研究所授权不得商用。

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