下载一种新型单晶炉的技术资料

文档序号:15347363

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本实用新型提供了一种新型单晶炉,包括单晶炉体和石墨坩埚,所述单晶炉体由主炉室和设置在主炉室上部的副炉室组成,主炉室的内腔中的固定设置有加热装置和保温层,所述副炉室的内腔与主炉室的内腔相连通,所述石墨坩埚的数量为三个,三个石墨坩埚均匀固定设置...
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