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具有L形栅极的分栅半导体器件制造技术
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文档序号:15343867
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公开了一种具有衬底、衬底上的介电层、第一栅极导体、栅极间介电结构和第二栅极导体的半导体器件。栅极介电结构布置在第一栅极导体和介电层之间,并且可包括两个或更多个以交替方式布置的介电薄膜。栅极间介电结构可设置在第一栅极导体和第二栅极导体之间,并...
该专利属于赛普拉斯半导体公司所有,仅供学习研究参考,未经过赛普拉斯半导体公司授权不得商用。
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