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并入有阻挡层的1S1R存储单元制造技术
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下载并入有阻挡层的1S1R存储单元的技术资料
文档序号:15343840
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薄膜1S1R位单元包含位于选择器元件与存储器元件之间的阻挡部。还描述了包含这些位单元的器件和形成这些位单元的方法。在实施例中,选择器元件和存储器元件均为电介质材料,并且有利地为金属氧化物。位于选择器元件与存储器元件之间的是阻挡部,其用于减小...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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