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接合装置以及接合方法制造方法及图纸
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下载接合装置以及接合方法的技术资料
文档序号:15343772
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接合装置10包括:接合头18,将顶部照相机与筒夹一体地保持并移动,顶部照相机24朝向接合作业面配置,筒夹22配置为与顶部照相机24具有偏移;底部照相机28,用于对由筒夹22保持的半导体芯片100相对于筒夹22的位置进行检测,且朝向筒夹22侧...
该专利属于株式会社新川所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社新川授权不得商用。
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