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本发明涉及一种用于为CVD或PVD装置产生蒸气的方法和设备，设有第一导热体(1)，所述第一导热体(1)具有用于将蒸发热量传导在通过第一输入管路(5)进料到第一导热体(1)内的第一原材料的液态或固态颗粒上的导热面，其中，通过所述颗粒的蒸发而产...
该专利属于艾克斯特朗欧洲公司所有，仅供学习研究参考，未经过艾克斯特朗欧洲公司授权不得商用。

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