由用于CVD或PVD装置的多种液态或固态原材料产生蒸气的设备和方法制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】由用于CVD或PVD装置的多种液态或固态原材料产生蒸气的设备和方法本专利技术涉及一种在CVD(化学气相沉积)或PVD(物理气相沉积)装置中产生蒸气的方法，其中，通过使第一原材料的液态或固态颗粒与具有第一温度的第一导热体的导热面形成接触而将蒸发热量传导在所述颗粒上，从而形成第一蒸气，借助运载气体将所述第一蒸气从第一导热体输送出，其中，所述第一蒸气被运载气体送入第二导热体中，所述第二导热体沿运载气体的流动方向布置在第一导热体的后面的一定距离处并且具有第二温度。此外，本专利技术还涉及一种用于为执行该方法的CVD或PVD装置产生蒸气的设备，所述设备具有第一导热体，所述第一导热体具有用于向通过第一输入管路进料到第一导热体内的第一原材料的液态或固态颗粒上传导蒸发热量的导热面，其中，通过颗粒的蒸发所产生的蒸气借助运载气体能够沿运载气体的流动方向从第一导热体转移到第二导热体，所述第二导热体沿运载气体的流动方向布置在第一导热体的后面，其中，第一导热体能够被加热到第一温度，并且第二导热体能够被加热到第二温度。文献WO2012/175128A1、WO2012/175124A1、WO201...
【技术保护点】
一种在CVD或PVD装置中产生蒸气的方法，其中，通过使第一原材料的液态或固态颗粒与具有第一温度的第一导热体(1)的导热面形成接触而将蒸发热量传导在所述颗粒上，从而形成第一蒸气，借助运载气体将所述第一蒸气从第一导热体(1)输送出，其中，所述第一蒸气被运载气体送入第二导热体(2)中，所述第二导热体(2)沿运载气体的流动方向布置在第一导热体(1)的后面并且具有第二温度，其特征在于，将第二原材料的固态或液态颗粒进料到第二导热体(2)中并且通过使所述颗粒与第二导热体(2)的导热面形成接触而将蒸发热量传导至所述颗粒上，从而形成第二蒸气，借助运载气体将所述第二蒸气与所述第一蒸气一起从第二导热体(2)输送出。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.07.01 DE 102014109195.71.一种在CVD或PVD装置中产生蒸气的方法，其中，通过使第一原材料的液态或固态颗粒与具有第一温度的第一导热体(1)的导热面形成接触而将蒸发热量传导在所述颗粒上，从而形成第一蒸气，借助运载气体将所述第一蒸气从第一导热体(1)输送出，其中，所述第一蒸气被运载气体送入第二导热体(2)中，所述第二导热体(2)沿运载气体的流动方向布置在第一导热体(1)的后面并且具有第二温度，其特征在于，将第二原材料的固态或液态颗粒进料到第二导热体(2)中并且通过使所述颗粒与第二导热体(2)的导热面形成接触而将蒸发热量传导至所述颗粒上，从而形成第二蒸气，借助运载气体将所述第二蒸气与所述第一蒸气一起从第二导热体(2)输送出。2.按照权利要求1所述的方法，其特征在于，运载气体将所述第一和第二蒸气输送至沿运载气体的流动方向在第二导热体(2)的后面间隔布置的第三导热体(3)内。3.按照前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，在沿运载气体的流动方向布置在第一导热体(1)前面的预热体(4)内加热所述运载气体。4.按照前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，第二导热体(2)的第二温度至少等于且尤其高于第一导热体(1)的第一温度。5.按照前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，导热面是分别构成导热体(1、2、27)的固体泡沫的开孔式表面。6.一种用于为CVD或PVD装置产生蒸气的设备，该设备尤其用于实施按照权利要求1至5之一所述的方法，所述设备具有第一导热体(1)，所述第一导热体(1)具有用于将蒸发热量传导在通过第一输入管路(5)进料到第一导热体(1)内的第一原材料的液态或固态颗粒上的导热面，其中，通过所述颗粒的蒸发而产生的蒸气能够被运载气体沿运载气体的流动方向从第一导热体(1)转移到第二导热体(2)中，所述第二导热体(2)沿运载气体的流动方向布置在第一导热体(1)的后面，其中，第一导热体(1)能够被加热到第一温度，并且第二导热体(2)能够被加热到第二温度，其特征在于，第二输入管路(6)直接通入到第二导热体(2)内或之前，第二原材料的液态或固态颗粒通过第二输入管路能够进料到第二导热体(...
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