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贺利氏德国有限及两合公司
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具有部分吸收层的双层层系统和制造该层的方法和溅射靶技术方案
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下载具有部分吸收层的双层层系统和制造该层的方法和溅射靶的技术资料
文档序号:15339910
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已知的双层的层系统包括背向观察者的光学吸收的金属层和面向观察者的覆盖层。用作吸收剂层的覆盖层相对较厚并且表现出尽可能高的吸收系数。为了尽可能简单地设计该层系统的制造过程,并且给出在向溅射气氛中并未添加或很少添加反应气体的情况下进行的溅射沉积...
该专利属于贺利氏德国有限及两合公司所有,仅供学习研究参考,未经过贺利氏德国有限及两合公司授权不得商用。
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