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本发明公开了一种应用于高Al组分AlGaAs‑GaAs脊台垂直侧壁形貌工艺的湿法腐蚀方法，其采用的腐蚀液配比为H...
该专利属于苏州长光华芯光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州长光华芯光电技术有限公司授权不得商用。

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