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一种用于ESD保护的双向纵向NPN结构制造技术
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下载一种用于ESD保护的双向纵向NPN结构的技术资料
文档序号:15332420
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一种用于ESD保护的双向纵向NPN结构,包括有P型衬底,其结构为:在P型衬底上设有DNW阱,在DNW阱两边设有NWell阱,中间设有PWell阱;一侧的NWell阱上部向上依次设有PESD区域和第一N+注入区,另一侧的NWell阱上部向上依...
该专利属于辽宁大学所有,仅供学习研究参考,未经过辽宁大学授权不得商用。
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