For a two-way vertical NPN structure of ESD protection, including P type substrate, the structure of DNW wells is provided within the P type substrate, a NWell well in the DNW well on both sides is arranged in the middle of PWell wells; NWell wells to one side of the upper part is provided with a PESD region and the first N+ injection, NWell upper part of wells to one side is provided with a PESD area and second N+ into the PWell trap area; upper injection region and the PESD region and second N+ in the PESD region and N+ region between the first injection, with STI. The invention provides a bidirectional longitudinal NPN structure for ESD protection by using the structure, and eliminates the additional diode and reduces the layout area.
【技术实现步骤摘要】
一种用于ESD保护的双向纵向NPN结构
本专利技术创造涉及一种NPN结构,尤其涉及一种用于ESD保护的双向纵向NPN结构。
技术介绍
NPN是十分有效的ESD保护器件,由于其维持电压很低,所以能够承受很高的ESD电流。一般NPN器件为单方向ESD保护器件,NPN器件的另外一个方向的ESD保护由寄生二极管或者并联一个二极管来完成。采用额外的二极管来进行另外一个方向的ESD保护,会增大版图面积。然而,在一些IO有负电压的电路中,如果IO电压低于-0.7V,GND电压为0V,采用二极管进行反方向保护,二极管在电路正常工作时就会导通,产生漏电,必须采用双向NPN结构进行保护。
技术实现思路
为了解决上述技术问题,本专利技术创造提供了一种用于ESD保护的双向纵向NPN结构,在P型衬底上设有DNW阱,在DNW阱两边设有NWell阱,中间设有PWell阱;一侧的NWell阱上部向上依次设有PESD区域和第一N+注入区,另一侧的NWell阱上部向上依次设有PESD区域和第二N+注入区;PWell阱上部,在PESD区域和第一N+注入区与PESD区域和第二N+注入区之间,设有STI区域。通过上述结构,解决了现有技术中存在的一般NPN器件只能提供单方向的ESD保护,当需要双向保护时,需要额外的二极管进行另外一个方向的ESD保护,增大了版图面积的技术问题。为了实现上述目的,本专利技术创造采用的技术方案是:一种用于ESD保护的双向纵向NPN结构,包括有P型衬底,其特征在于:在P型衬底上设有DNW阱,在DNW阱两边设有NWell阱,中间设有PWell阱;一侧的NWell阱上部向上依次设有 ...
【技术保护点】
一种用于ESD保护的双向纵向NPN结构,包括有P型衬底(1),其特征在于:在P型衬底上设有DNW阱(2),在DNW阱(2)两边设有NWell阱(3),中间设有PWell阱(4);一侧的NWell阱(3)上部向上依次设有PESD区域(5)和第一N+注入区(6),另一侧的NWell阱(3)上部向上依次设有PESD区域(5)和第二N+注入区(7);PWell阱(4)上部,在PESD区域(5)和第一N+注入区(6)与PESD区域(5)和第二N+注入区(7)之间,设有STI区域(8)。
【技术特征摘要】
1.一种用于ESD保护的双向纵向NPN结构,包括有P型衬底(1),其特征在于:在P型衬底上设有DNW阱(2),在DNW阱(2)两边设有NWell阱(3),中间设有PWell阱(4);一侧的NWell阱(3)上部向上依次设有PESD区域(5)和第一N+注入区(6),另一侧的NWell阱(3)上部向上依次设有PESD区域(5)和第二N+注入区(7);PWell阱(4)上部,在PESD区域(5)和第一N+注入区(6)与PESD区域(5)和第二N+注入区(7)之间,设有STI区域(8)。2.根据权利要求1所述的一种用于ESD保护的双向纵向NPN结构,包括有P型衬底(1),其特征在于:从所述的第一N+注入区(6)依次到其下部的PESD区域(5)、NWel...
【专利技术属性】
技术研发人员:蔡小五,魏俊秀,高哲,梁超,刘兴辉,翟丽蓉,吕川,闫明,
申请(专利权)人:辽宁大学,
类型:发明
国别省市:辽宁,21
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