温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

用于PERC电池的链式PECVD镀膜系统，包括真空传输装置、沿真空传输装置的传输方向依次布置的上料操作台、第一上料室、第一镀膜装置、第二上料室、第二镀膜装置、第三上料室、第三镀膜装置和下料室，下料室与上料操作台之间设有下料回框装置，第一上料...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十八研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十八研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。