温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种金属薄膜的工艺，其特征是：沉积薄膜的装置,基片为玻璃，NaCl单晶，溅射本底真空一般定义在5×10-6～10×10-6Torr，然后通过氩气，在10-5～10-3的氩气压下输入2650MHz微波，在发散磁场B＝956G附近区产...
该专利属于青岛旭升封头有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛旭升封头有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。