下载一种在目标器件上形成图案化的石墨烯的方法的技术资料

文档序号:15311733

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种在目标器件上形成图案化的石墨烯的方法,采用气相沉积法在金属衬底上生长的石墨烯转移至所需要应用的目标器件上的转移过程中且尚未转移到目标器件之前,先对石墨烯薄膜进行图案化,再将图案化的石墨烯薄膜最终转移至目标器件。本发明具有以下...
该专利属于无锡格菲电子薄膜科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡格菲电子薄膜科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。