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一种冷热腔可控温加热支撑架，主要解决现有半导体镀膜设备热交换效率及产能较低，晶圆温度不够均匀致使薄膜失败的问题，本发明提供一种冷热腔可控温加热支撑架，该加热支撑架包括加热支撑架上盘体，陶瓷柱，分隔板，加热支撑架下盘体，固定螺母。本发明的可控...
该专利属于沈阳拓荆科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳拓荆科技有限公司授权不得商用。

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