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具有介电常数设计的原位电荷捕获材料的高温静电夹盘制造技术
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下载具有介电常数设计的原位电荷捕获材料的高温静电夹盘的技术资料
文档序号:15287467
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所公开的技术用于在处理腔室中提高击穿电压、同时在超过约300摄氏度的温度下大幅减少静电夹盘的电压泄漏的方法和设备。...
该专利属于应用材料公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料公司授权不得商用。
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