下载生长在玻璃衬底上的GaN薄膜及其制备方法的技术资料

文档序号:15287130

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本发明公开了生长在玻璃衬底上的GaN薄膜,包括生长在玻璃衬底上的铝金属层,生长在铝金属层上的银金属层,生长在银金属层上的AlN缓冲层,生长在AlN缓冲层上的GaN缓冲层,生长在GaN缓冲层上的GaN薄膜。本发明还公开了上述生长在玻璃衬底上的...
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