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本实用新型提出一种湿法硅片再生机台静电容传感器保护装置，包括：封闭式固定块，其内部中空设置；静电容传感器，设置于所述封闭式固定块内部。本实用新型提出的湿法硅片再生机台静电容传感器保护装置，将靠螺丝连接的半开放式固定块做成全封闭式固定块，同时...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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