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本发明提供了一种减薄机的真空过滤系统及方法，该真空过滤系统包括：密封腔体，设有真空接口、气源接口与排液接口，真空接口通过第一管路连接至真空源，第一管路上设有一真空电磁阀；气源接口通过第二管路连接至减薄机的气路终端；通过第三管路与第二管路连通...
该专利属于北京中电科电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中电科电子装备有限公司授权不得商用。

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