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一种偏压温度不稳定性测试结构及测试方法技术
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文档序号:15254375
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本发明公开了一种偏压温度不稳定性测试结构,包括奇数个串联的反相器,每一所述反相器包括一个PMOS管和一个NMOS管,其中,每一所述PMOS管和NMOS管的栅极、源极、漏极和体区均通过焊盘引出。本发明还提供了一种利用上述测试结构的偏压温度不稳...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。
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