下载一种压合设备及压合方法的技术资料

文档序号:15238002

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本发明提供了一种压合设备及压合方法,所述压合设备包括架体和分层设置在架体上的多个压合单元,压合单元包括:设置在架体上的平台;设置在平台上的基板载台;设置在平台上的多个支撑杆,支撑杆相对于基板载台升降,并穿过基板载台上对应的开口部,具有第一状...
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