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本发明公开了基于柔性结构的次纳米级精密驱动工作台，包括底座和工作台，底座上依次平行设置有直线导轨、直线电机、用于定位支撑直线电机的支撑板、侧挡板；直线导轨上装配有两个滑块，每个滑块和工作台之间均装有柔性体；侧挡板上设置有光栅编码器定尺，工作...
该专利属于西安理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安理工大学授权不得商用。

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