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一种多晶硅的提纯方法技术
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文档序号:15228261
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一种多晶硅的提纯方法,包括以下步骤:A:将原料多晶硅研磨至粒度为36‑260μm;B:将研磨后的多晶硅在氩气保护下以5℃/min的速度从室温煅烧至1050±5℃,再以1℃/min速度继续加热至1250±5℃然后将硅在冷水中快速淬火至室温,金...
该专利属于安阳工学院所有,仅供学习研究参考,未经过安阳工学院授权不得商用。
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