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一种大口径自由曲面样品表面轮廓差动测量装置与方法,涉及大口径自由曲面样品表面轮廓测量技术。目的是为了解决现有方法测量速度慢,测量范围小且易损伤样品的问题。本发明首先在待测样品表面镀一层有机荧光膜,激光器发出的激光依次经过准直物镜和光阑后形成...
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