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一种大口径自由曲面样品表面轮廓差动测量装置与方法制造方法及图纸
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下载一种大口径自由曲面样品表面轮廓差动测量装置与方法的技术资料
文档序号:15226981
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一种大口径自由曲面样品表面轮廓差动测量装置与方法,涉及大口径自由曲面样品表面轮廓测量技术。目的是为了解决现有方法测量速度慢,测量范围小且易损伤样品的问题。本发明首先在待测样品表面镀一层有机荧光膜,激光器发出的激光依次经过准直物镜和光阑后形成...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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