下载一种半导体器件及其制备方法、电子装置的技术资料

文档序号:15226381

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本发明涉及一种半导体器件及其制备方法、电子装置。所述方法包括步骤S1:提供半导体衬底,在所述半导体衬底的阱区上形成有NMOS和PMOS的具有第一高度的鳍片;步骤S2:在所述鳍片的侧壁上形成间隙壁,以覆盖所述鳍片的侧壁;步骤S3:以所述间隙壁...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。

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