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本实用新型公开了一种宏微集成运动高精度并联机构装置，包括机械本体部分及控制部分，机械本体部分包括静平台、动平台及驱动动平台宏动运动的直线电机驱动支链和驱动动平台精密微运动的直线精密驱动单元，控制部分包括直线电机伺服放大器、直线精密驱动单元伺...
该专利属于华南理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过华南理工大学授权不得商用。

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