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本发明公开一种基于带电处理的基板卡定方法及基板卡定系统，其旨在提供更加简化的卡定方法及卡定系统，尤其提供一种可稳定地卡定所述基板并易于解卡定的新型卡定方法及卡定系统。为此，使基板与卡盘板的导电板携带极性相反的电荷，从而使强力的静电引力波及到...
该专利属于延原表股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过延原表股份有限公司授权不得商用。

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