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离子源温度控制装置制造方法及图纸
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下载离子源温度控制装置的技术资料
文档序号:15193633
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本发明公开了一种用于控制离子源的温度的离子源温度控制装置。离子源包含多个壁,所述多个壁界定离子在其中生成的腔室。为了控制离子源的温度,一个或多个可移动挡热板安置到腔室外部。可移动挡热板由设计为将热量反射回到离子源的高温和/或耐火材料制成。在...
该专利属于瓦里安半导体设备公司所有,仅供学习研究参考,未经过瓦里安半导体设备公司授权不得商用。
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