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一种物理气相沉积镀膜过程中区域保护方法，首先使用低能量的离子对待镀膜导电环或其余物体表面进行镀膜，然后使用除料加工手段去除表面中希望镀膜区域的镀层，使用高能量的离子对表面镀膜，最后使用除料加工手段去除导电环表面中不希望镀膜区域的镀层，使得不...
该专利属于北京控制工程研究所所有，仅供学习研究参考，未经过北京控制工程研究所授权不得商用。

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