下载超长光纤光栅刻写在线监测系统及方法的技术资料

文档序号:15191734

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种超长光纤光栅刻写在线监测系统,它的第一显微镜和第二显微镜用于观测光纤光栅刻写装置中被刻写光栅曝光区域与掩膜板的之间是否平行,拉力计用于对被刻写光栅曝光区域的两端提供预设的拉力,第一水平仪和第二水平仪用于监测对被刻写光栅曝光区域...
该专利属于武汉理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过武汉理工大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。