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超长光纤光栅刻写在线监测系统及方法技术方案
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文档序号:15191734
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本发明涉及一种超长光纤光栅刻写在线监测系统,它的第一显微镜和第二显微镜用于观测光纤光栅刻写装置中被刻写光栅曝光区域与掩膜板的之间是否平行,拉力计用于对被刻写光栅曝光区域的两端提供预设的拉力,第一水平仪和第二水平仪用于监测对被刻写光栅曝光区域...
该专利属于武汉理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过武汉理工大学授权不得商用。
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