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本发明公开了一种抛光垫，解决了现有抛光垫存在的抛光液分布不均、抛光速率和平整化程度有待进一步提高的问题。技术方案至少包括圆形的抛光层，所述抛光层上表面开有供抛光液流动的沟槽，所述沟槽由圆周走向型沟槽和径向走向型沟槽组成，所述圆周走向型沟槽是...
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