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本申请提出了一种信号线在制备过程中高温退火及曝光后的预处理方法，它涉及一种低温多晶硅面板制造工艺中信号线的制备方法，具体涉及一种改善信号线锯齿状缺陷的方法。本发明的目的是要解决现有技术制备的信号线存在锯齿状缺陷的问题。一种信号线在制备过程中...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。

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