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本实用新型公开了一种改进型晶圆承载台，承载台为空心半球形，且在承载台上设置有多个晶圆夹具，所述晶圆夹具之间设置有测试片夹具，所述晶圆承载台背部设置有测试片夹具遮挡板。采用本实用新型能够有效降低薄膜特性测试的成本。...
该专利属于成都海威华芯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都海威华芯科技有限公司授权不得商用。

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