下载一种具有部分埋氧结构的IGBT的技术资料

文档序号:15136748

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本实用新型公开一种具有部分埋氧结构的IGBT,包括:N-型基区;位于所述N-型基区下表面内两侧的两个埋氧;位于所述N-型基区下表面内中部、所述两个埋氧之间的背P+发射区;位于所述N-型基区上表面内两侧的两个P型基区;位于所述两个P型基区上表...
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