下载毫米波/太赫兹多金属层半导体器件的接地屏蔽结构的技术资料

文档序号:15128051

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本发明公开了一种关于改善毫米波/太赫兹电路器件性能的接地屏蔽结构。该接地屏蔽结构,包括了一个接地屏蔽金属环和一个接地隔离金属条,接地屏蔽金属环把半导体器件的两个端口包围形成一个环状,接地隔离金属条把半导体器件两个端口隔离。该发明有效地降低半...
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