下载一种锗晶体应力消除方法的技术资料

文档序号:15125510

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种锗晶体应力消除方法,包括如下步骤:首先对锗晶体进行清洗,然后放入退火炉,并抽真空至5Pa以内,然后充入惰性气体,最后控温退火,至室温,出炉。该工艺对产品应力消除良好,彻底解决了晶体加工成镜片后的面型变形问题,加工成镜片后的抗...
该专利属于吕远芳所有,仅供学习研究参考,未经过吕远芳授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。