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检测方向与参考轴倾斜的多轴MEMS陀螺仪及其读出电路，所述多轴陀螺仪具有微电子机械结构(10)，所述微电子机械结构(10)具有参考轴(x，y)，沿着参考轴要检测的角速度(Ωx，Ωy)起作用，还具有检测元件(22a-22d)，它们在相应检测方...
该专利属于意法半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过意法半导体股份有限公司授权不得商用。

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